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三轴超高速纳米定位器。
SPM3级的Z部分可以具有高达50μm的行程范围，并提供市场上最高的速度能力（高达12.5kHz谐振频率）。专为原子力显微镜等要求苛刻的计量应用而设计
SPM3载物台是一款3轴超高速纳米定位器，沿X和Y的行程范围高达75μm，两个轴上的谐振频率均高于2kHz。
SPM3级的Z部分可具有高达50μm的行程范围，并提供市场上最高的速度能力，最大谐振频率为12.5kHz。事实上，当与高功率控制器一起使用时，SPM3.5在Z轴上的阶跃响应时间可以小于一毫秒。这就是为什么SPM载物台特别适合要求苛刻的计量应用，如原子力显微镜。
它可以与粗定位的微载物台结合使用（请参阅我们的混合系统）。该纳米定位器是我们高速产品线的一部分（提供高功率控制器）
LFS3 是一款 3 轴纳米定位器，沿 X 和 Y 提供 100μm 的行程，沿 Z 轴的行程为 20 μm，孔径为 40 x 40 mm
该压电级可以与粗定位的微级结合使用。